Remote Plasma Source (RPS 발생기) 구매

㈜케이에스엠컴포넌트가 반도체 공정용 Remote Plasma Source 1식을 구매·설치한다. 예산은 부가세 포함 40,700,000원이다. 장비는 Reactor와 MF Generator로 구성하고, 최대 출력 8,000W 이상, 400~460kHz, 208VAC 3상 접지 전원을 지원해야 한다. 인천 현장에 설치해 시운전과 교육을 마친다. 규격·가격 동시입찰이며 필수 규격과 적격점수 85점 이상을 통과한 업체만 가격을 개찰한다. 납품기한은 공고에서 계약 후 60일, 사전규격서에서 3개월로 달라 확인이 필요하다.

반도체 챔버 내부 불순물을 세정하는 불소 라디칼 공급용 RPS를 구축해 서셉터의 내플라즈마·내식성 시험 공정을 지원한다.

공고는 계약 후 60일 이내 납품, 사전규격서는 계약 후 3개월 이내 납품으로 서로 다르게 적었다. 설치 후 시운전·교육 완료 일정은 계약 전에 확인해야 한다.

Remote Plasma Source 1식으로 Reactor와 MF Generator를 공급한다. 장비 외형 500×300×300mm 이하, 무게 30kg 이하, 208VAC 3상 접지, 입력 전압 190~220VAC 범위, 주파수 400~460kHz, 최대 출력 8,000W 이상이다.

인천광역시 남동구 남동서로 362번길 51에 장비를 현장 설치하고 납품·시운전·운영 및 유지관리 교육을 한다. 설치 후 성능검증과 품질보증 계획을 이행한다.

나라장터에 RPS 발생기 또는 동등 장비의 제조·공급 자격을 등록한 업체가 참여한다. 부정당업체 제재 중이거나 국세·지방세를 체납한 업체는 제외한다.

RPS 본체와 MF Generator, 제품 규격·카탈로그, 장비 설치·시운전 일정, 성능검증 및 품질보증 계획, A/S 및 사용자 교육 계획, 납품 후 검사성적서와 공인시험기관 성능성적서를 제출한다.

RPS 발생기 또는 동등 물품 제조·공급이 가능한 나라장터 등록업체여야 한다. 개찰 후 규격검토확인서를 내고 수요기관의 규격 통과 날인을 받아야 한다. 공동수급과 분할 납품은 허용하지 않는다.

규격·가격 동시입찰이다. 적격점수 85점 이상이고 필수 사양을 모두 충족한 업체를 대상으로 가격을 개찰한다. 예정가격 이하 최저가를 낙찰자로 정한다. 규격평가는 적정성 50%, 사업수행 30%, 기술지원·유지보수 20%다.

공고상 계약 후 60일 이내 납품해야 한다. 사전규격서는 계약 후 3개월 이내라고 정한다. 제안서 평가는 접수 및 개찰 후 7일 이내 진행한다.

납품기한 기산 후 기간이 공고의 60일과 사전규격서의 3개월로 다르다. 하자보증 기간도 공고는 설치일부터 1년, 규격서는 납품일부터 1년 이상으로 시작점이 다르다. 계약 전에 납품기한과 보증기간 기산점을 확정해야 한다. 제안가격에는 사양서에 명시되지 않은 설치 필요 장비·기술을 별도 금액으로 추가하지 못하므로 현장 구축 범위를 제안서에 빠짐없이 담아야 한다.