저온 원자층 계면공정 시스템_첨단산업특성화대학원지원(반도체)

한양대학교 산학협력단 공고게시 2026-09-22 10:02

추정가격

36,455만원

제출 마감

2026-09-30 10:00 D-1

계약방법

일반경쟁

기술:가격

문서에 없음

수행기간

until:2026-11-20

공동수급

문서에 없음

만들어야 하는 것 0개 과업

문서에서 과업 목록을 못 찾았다.

요약

한양대학교 산학협력단이 저온 원자층 계면공정 시스템 1식을 구매한다. 장비 납품·설치·교육·시험·검수를 2026-11-20까지 마쳐야 하며, 규격과 가격을 동시에 심사한다.

목적

저온 ALD 기반 계면공정 시스템 구축.

수행기간

2026-11-20까지 납품·설치·교육·테스트·검수 완료.

평가 배점

규격 적격 판정 후 가격을 개찰한다. 규격서에는 100점 중 85점 이상을 적격으로 정한다.

일정과 제출

2026-11-20까지 납품·설치·교육·테스트·검수 완료.

첨부 문서 파일 이름을 누르면 나라장터에서 내려받는다

일정