8inch 금속 증착장비

한국재료연구원이 8인치 웨이퍼용 금속 열증착장비 1세트를 구매·설치한다. 사업금액은 부가세 포함 9,900만 원이다. 기술평가 85점 이상 업체 중 예정가격 이하 최저가 입찰자를 선정한다.

플라즈모닉 나노바이오 기판과 바이오칩 제작용 금속 박막 증착 공정을 구축한다.

계약 후 60일 이내 납품·설치

최대 8인치 웨이퍼, 챔버 진공도 5.0×10⁻⁶ Torr 이하, 터보분자펌프 1,100 L/s, 로터리펌프 600 L/min, 기판 회전 5~20 rpm, 증착 균일도 ±5% 이하, PLC 제어

8inch Thermal Evaporating System 1세트. 분할 납품 불가, 한국재료연구원 현장 설치도.

금속 증착장비 1세트, 현장 설치·시운전, 장비 작동·유지보수·프로그래밍 교육, 기술제안서와 규격 부합성 증빙자료

중소기업 또는 소상공인 확인서를 소지하고, 진공증착기 세부품명번호 2399039801을 제조 또는 공급물품으로 나라장터에 등록해야 한다. 공동계약은 불가하다.

제안서 기술평가 100점 중 85점 이상을 적격으로 삼고, 예정가격 이하 최저가로 낙찰한다. 동가 시 기술평가 우위자를 선정한다.

규격·가격 전자입찰서와 제안서는 2026-09-30 10:00까지 나라장터에 제출한다. 개찰은 기술평가 완료 후다.

동가의 세부 기술점수 재비교 단계가 제안요청서에만 있다. 공고서는 동가·기술평가 동점이면 추첨한다고 하며, 문서 충돌 때 공고서가 우선한다고 명시한다. 기술제안서 증빙 누락 항목은 최하점을 받는다. 설치 후 1년간 무상 수리·유지보수가 필요하다.