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「전동화전력반도체 테스트베드 구축사업」표면저항 측정기

재단법인부산테크노파크 공고게시 2026-09-30 09:14
추정가격
9,091만원
제출 마감
2026-10-12 10:00 D-10
계약방법
일반경쟁
기술:가격
문서에 없음
수행기간
120일
공동수급
불가
만들어야 하는 것 2개 과업
1계측장비
12인치웨이퍼,면저항1mΩ~10MΩ/sq·박막3~1500nm,내부정확도±0.1%미만,300mm49점120초내. MacroJandel/MicroMEMS4PP·레이저높이센서·Z/Rθ스테이지·웨이퍼핸들링.
2측정프로그램·검증교육
자동Loading/Mapping/Unloading,Windows11 GUI·SPC·CSV/TXT·2D/3D·TCP/IP. 납품전 제조현장에서 직원2명이상 성능테스트,Moving100회이상,설치후국내교육1주이상.
요약
부산테크노파크 전력반도체 테스트베드 표면저항 측정기1set 구매. 예산1억원 VAT포함,계약120일,규격가격동시2단계입찰.
목적
12인치 이하 웨이퍼·박막의 면저항·비저항을 고정밀4PointProbe로 자동측정한다.
수행기간
계약120일내,검수완료부터2년 하자보증.
기술환경
Windows11 GUI,SPC데이터,CSV/TXT,TCP/IP,진공-0.086MPa 약10L/min,AC100~240V2kVA이하.
하드웨어
스테이지·데이터관리프로그램·하드웨어각1set. 약600×1066×750mm70kg,모니터테이블제외.
인력
자사사업수행인력,4대보험명부.대면평가PM발표(소속직원대체가능),참석발표자포함3인내.
산출물
표면저항측정기·프로그램·설치·공장성능검증·시운전·교육·2년지원.전자제안서·발표자료 및 자격/실적/인력/신용평가증빙.
참가 자격
저항계41113631 제조물품G2B등록을 제출마감전일까지 완료. 공동계약·하도급 불가.
평가 배점
정량20(실적5·인력6·신용6·신인도3),규격80(충족15·성능30·안전10·보증10·설치10·교육5).합85이상 적격자중예정이하최저가,동가규격점수우선·동점추첨.최근3년 단일7천만원이상 동등이상 제조납품실적만인정,합계2억초과5·1억이상4·미만3점.인력5명초과6·2~5명5·2명미만4점.
일정과 제출
마감시각은 원문이 나라장터전자공고참조로 지정.온라인가격과제안서둘다필수.평가마감후10일내별도통지,발표20분Q10분. PDF200MB이내·본문양면100장내권고·회사식별표시금지.
걸림돌
구체적인 제출기한은 첨부에 없다.전자공고우선조건.서식에 협상계약 문구가 남지만 본문은 규격가격동시.납품운송설치비업체부담(2차Hook-Up제외),추가교육·기술지원.신용평가창업7년예외·공동수급일반문구 적용여부확인.
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일정
  • 2026-09-30 09:14 공고 게시
  • 2026-10-11 18:00 자격 등록 마감
  • 2026-10-12 10:00 입찰 마감