공고 찾기 R26BK01750332-000
마감 임박 D-6 등록공고
건식기반 탠덤 태양전지용 중간층 저손상 증착장비
한국에너지기술연구원 공고게시 2026-09-30 10:29
추정가격
40,000만원
제출 마감
2026-10-08 10:00
D-6
계약방법
일반경쟁
기술:가격
규격적격자 중 최저가 낙찰
수행기간
계약체결일로부터 210일 이내
공동수급
공동계약 불가
만들어야 하는 것
5개 과업
1단일 기판 로드락 모듈
단일 기판 챔버, 이송 로봇, 건식 펌프, 게이트 밸브, 진공 게이지 포함.
2공정 모듈
최대 지름 300mm 기판 공정 챔버, 10인치 회전 마그네트론 스퍼터링 캐소드 2세트, 크라이오 펌프, 자동 압력 제어(최대 50mTorr), 기판 냉각 페데스탈.
3시스템 제어 및 전원부
2.0kW RF 전원 공급 장치 2세트, 매칭 네트워크, 제어 소프트웨어, PC와 19인치 모니터, SECS/GEM 통신 지원.
4가스 공급과 부대 구성
Ar, O2, N2 질량 유량 제어기 3개, 예비 부품, OEM 매뉴얼 2세트.
5교육과 설치
장비 설치와 시운전 지원. 제조사 교육 시설에서 2인 대상 1주일 유지보수 교육.
요약
한국에너지기술연구원이 건식기반 탠덤 태양전지용 중간층 저손상 증착장비 1대를 구매한다. 일반(총액)경쟁이고 규격·가격 동시입찰이다. 기초금액은 부가세 포함 440,000,000원이다. 납품기한은 계약체결일로부터 210일 이내이고 납품장소는 태양광기업공동활용연구센터 1층 실험실 102호다.
목적
M10 크기 이상 실리콘/페로브스카이트 탠덤 태양전지 제작에 쓰는 TCO 중간층과 최상부 TCO 전극(ITO, IZO)을 저손상 고품질로 증착.
수행기간
계약체결일로부터 210일 이내 납품. 분할납품 불가. 납품 후 1년 무상 보증.
기술환경
스퍼터링(경사 스퍼터링), 공정 챔버 도달 진공도 2.0E-7 Torr 이하, 두께 균일도 +-5% 미만(9 Point), SECS/GEM 통신.
하드웨어
증착장비 1대를 실험실 102호에 납품하고 설치한다. 스퍼터링 타겟 물질과 2차 유틸리티(전력, 냉각수, 압축공기)는 장비 도입 시 계약자가 자체 제공해야 한다.
산출물
증착장비 1대, 로드락·공정 모듈, 전원부, 예비 부품, OEM 매뉴얼 2세트, 유지보수 교육, 설치·시운전.
참가 자격
나라장터에 세부품명번호 2399039801(진공증착기)을 제조 또는 공급물품으로 등록한 업체. 공동계약 불가. 소기업·소상공인 제한은 없다.
평가 배점
규격적격자 중 예정가격 이하 최저가 입찰자를 낙찰자로 선정한다. 규격평가 배점표는 공고문에 없다. 동일가격이면 규격 또는 기술 우위자를 정한다.
일정과 제출
전자입찰 기간은 2026-10-06 10:00부터 2026-10-08 10:00까지이고 개찰은 2026-10-08 11:00 이후다. 규격평가 기간에 따라 개찰 일정이 바뀔 수 있다.
걸림돌
규격평가의 세부 배점과 적격 기준이 원문에 없다. 스퍼터링 타겟과 유틸리티를 계약자가 제공해야 한다. 하자보증은 규격서에서 국가계약법에 따른다고만 하고 사양 항목에서 1년 무상 보증(소모품 제외)이 나온다. 공정 챔버 증착 대상 물질이 ITO, IZO와 NiOx로 서로 다르게 적혀 있다.
첨부 문서
파일 이름을 누르면 나라장터에서 내려받습니다
첨부 목록이 아직 없습니다.