공고 찾기 R26BK01750618-000
마감 임박 D-4 재공고
8inch 금속 증착장비
한국재료연구원 공고게시 2026-09-30 11:41
추정가격
9,000만원
제출 마감
2026-10-06 10:00
D-4
계약방법
제한경쟁
기술:가격
문서에 없음
수행기간
60일
공동수급
불가
만들어야 하는 것
2개 과업
18inch 열증착 시스템 공급
고진공 챔버, TMP 1100L/s·Rotary 600L/min 펌프, 독립 로드락, Robot Arm, 5~20rpm 회전 홀더, Dual Thermal Source 1.5kW×2, QCM 두께 모니터 구성.
2설치·시운전 및 교육·보증
한국재료연구원 지정 시간·장소 설치와 조정. 장비 작동·유지보수·프로그래밍 교육, 설치 후 1년 무상수리·유지보수.
요약
한국재료연구원에 8inch 금속 증착장비 1세트를 현장 설치한다. 사업금액은 부가세 포함 99,000,000원이며 계약 후 60일 이내 납품한다. 무응찰 유찰 후 일반총액 규격가격동시 입찰로 확대했고, 기술평가 85점 이상 적격자 중 예정가격 이하 최저가를 선정한다.
목적
대면적 플라즈모닉 나노바이오 기판과 암·유전자 진단칩의 금속 박막 양산 공정 인프라 구축.
수행기간
계약 후 60일 이내. 공고·규격서·제안요청서 일치.
기술환경
최대8inch, 챔버 진공도 ≤5.0×10⁻⁶Torr, 두께 분해능0.037Å, 균일도±5% 이하, PLC Touch Panel 및 Robot Arm 자동이송.
하드웨어
금속 증착장비 1set 현장 설치와 시운전을 공급사가 수행한다. 필요한 예비품·미명기 기기도 운용에 필요하면 납품한다.
인력
설치·시운전 기술자 지원, 4대보험 가입자 명부. 교육지원·기술지원 각1명 이상.
산출물
증착장비1set, 규격 부합 증빙·카탈로그, 시운전 및 교육.
참가 자격
진공증착기2399039801 제조 또는 공급 등록. 기업규모 확인서로 제한하지 않는다. 공동계약 불가. 조세포탈 유죄확정 후2년 미경과 참가 불가.
평가 배점
총100점 중 경영상태5, 실적5, 기술인력5, 개요5, 규격적합30, 두께정밀15, 균일도15, 품질보증10, 일정5, 사후관리5. 85점 이상 기술적격자 중 예정가격 이하 최저가. 동가 처리 충돌은 공고 우선 조항을 적용하고 conflicts에 보존한다.
일정과 제출
가격·규격 제출 2026-10-01 10:00~10-06 10:00. 참가자격 등록 전일18:00. 제안서 먼저 제출한 뒤 가격입찰, 전자PDF 총300MB 이하. 평가일시 별도 안내 또는 서면평가.
걸림돌
공고가 일반경쟁으로 확대했으나 RFP 제한총액 표기가 남아 있다. 동가 기술점수 후 처리 절차도 다르며 공고 우선 적용 조항을 따른다. 설치 제반비용·안전사고·누락 보완은 업체 부담, 미명기 필수 기기 포함. 분할납품 불가. 하도급은 관련규정과 승인절차를 준수한다.
첨부 문서
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