첨단산업 인재양성 디스플레이 부트캠프 다목적 박막 증착용 스퍼터 시스템 구매입찰

한양대학교 ERICA 산학협력단이 디스플레이 부트캠프 교육·연구용 다목적 박막 증착 스퍼터 시스템 1대를 구매한다. 공고 금액은 부가세 포함 83,600,000원이다.

디스플레이·반도체 소자 제작을 위한 박막 증착 공정 실습과 공정 최적화 교육에 활용한다.

공고·RFP는 계약 후 120일 이내 설치·교육 포함, 구매규격서는 180일로 충돌. 공고 하자기간은 검사완료 후 1년.

최대 6인치 웨이퍼 1장, 4인치 스퍼터건 3개, 기판 회전1~20rpm, 로터리펌프600L/min 이상, APC·스로틀밸브·바라트론 게이지, Ar/O2 MFC·N2 밸브. 공압·냉각수 안전 인터락. 누설률1×10^-8 Torr·L/sec 이하, 기판온도균일도±<1.5%, Ti박막1500ű5%.

신품 스퍼터 시스템1대, 오염방지 커버·누수센서·캐스터·레벨링풋·공정시험 부대시설. 포장·운반·전원설비·설치·프로그램 및 정상운전에 필요한 미기재 자재까지 포함한다.

설치·작동·검수 기술지원은 공급업체 임직원이 담당한다. 요구 인원수와 인력 자격은 명시하지 않는다.

규격비교표·납기이행/납품/사후관리계획, 최근3년 동등장비 납품실적 및 신용평가확인서. Factory Test Sheet, 현장 성능평가·설치완료보고서, 사용설명서 출력1부·PDF, 제작사 정품공급·기술지원확약서. 검수 시 3일 이상 교육/사용 확인, 보증 내1회 이상 데모교육·추가요청교육 무상.

세부품명2399039801을 제조물품으로 마감 전일까지 나라장터 등록. 지역제한 없음, 공동계약 및 분할납품 불가. 세금 완납증명 및 입찰금액5% 이상 보증보험 제출.

규격가격동시입찰, 제안서100점 중80점 이상 적격자 가운데 예정가격 이하 최저가. 기술50(적합성25·검증자료25), 설치시험운영20, 사후관리품질20, 신용10. 신용 상세표10/9.5/9/7점과 총괄표 구간9~10/7~8/5~6/3~4가 혼재한다.

첨부 공고·RFP는 제출/개찰 시각을 나라장터 참조로만 안내한다. 원문 근거 마감시각은 null. 참가등록은 제출마감 전일18:00. 제안서 PDF300MB 이하 e-발주시스템, 가격·기술입찰서 모두 제출. 평가기간에 따라 개찰 일정 변경.

120일/180일 납기 불일치. 기판온도는 특징에서400도이상, 상세제원에서최대400도로 요구범위 차이. 공고는 동등이상과 동일제품 표현이 혼재. 신용평점 총괄구간·상세표 차이. 첨부문서는2026-08-25 작성, 현재공고 메타데이터는9월말 수집이므로 마감시각을 첨부에서 확정하지 못했다. 제조자 클린룸에서 성능검사·시연 통과 후 납품하며 시험용 타깃·가스·냉각수 비용은 제조자가 부담한다.