TGV용 스퍼터 챔버

조달청 경남지방조달청이 한국세라믹기술원에 TGV용 스퍼터 챔버 1식을 구매·설치하는 물품 재공고다. 사업금액은 부가가치세 포함 600,000,000원이고 계약 후 180일 이내 납품해야 한다. 진공증착기 제조 또는 공급 물품을 나라장터에 등록한 업체가 참가하며, 규격 적격자 중 예정가격 이하 최저가 입찰자를 선정한다. 규격·가격 입찰서를 모두 전자 제출해야 하고, 제안서 평가에서 85점 이상을 받아야 규격 입찰에 합격한다.

12인치 유리 기판의 TGV via 홀에 시드 금속을 형성하는 반도체 공정 시스템을 구매해 고종횡비 TGV 증착 공정을 지원한다.

계약 후 180일 이내 납품한다.

12인치 유리 기판, HiPMS·RF·DC 플라즈마, RF 바이어스 척, 히팅 200℃ 미만 및 냉각 방식, GUI·공정 레시피·로깅·안전 인터록을 요구한다.

TGV PVD 챔버 2기, RF 바이어스 척 어셈블리, 파워 어셈블리, 플립 챔버, 자동 이송 장치, 제어반과 소프트웨어를 공급한다. 한국세라믹기술원 이천분원 C5 클린룸에 설치하며 설치 관련 비용은 계약자가 부담한다.

설치와 시운전에 필요한 기술 업무를 지원하고, 시운전 완료 시까지 안전관리자와 안전관리요원을 현장에 상주시킨다.

장비 및 부속품, 납품계획서, 설치·시운전 및 검수 자료, 성능 시험성적서 또는 유효성 입증자료, 장비 작동 매뉴얼을 제출한다. 사용 담당자 교육도 실시한다.

입찰참가자격 등록 마감일까지 나라장터에 진공증착기(2399039801)를 제조 또는 공급 물품으로 등록해야 한다. 공동이행은 대표자를 포함해 5인 이하, 구성원별 지분율 10% 이상으로 허용한다고 공고서에 적혀 있다.

규격·가격 동시입찰이다. 제안 평가 점수 85점 이상이면 규격 입찰에 합격하며, 규격 적격자 중 예정가격 이하 최저가 입찰자를 낙찰자로 선정한다. 제안 평가 배점은 정량 10점, 정성 80점, 지원 10점이다.

2026년 10월 13일 10:00까지 나라장터로 규격·가격 전자입찰서를 모두 제출한다. 규격 평가 일시와 장소는 수요기관이 별도 안내하거나 서면으로 진행하며, 개찰은 규격 입찰 평가 완료 후 진행한다.

현물 검수와 설치 완료 검수를 모두 통과해야 하며, 대금은 설치 완료 검수와 하자보수이행증권 제출 후 지급한다. 시운전 불합격 시 결함을 바로 시정하고 재시행해야 한다. 설치 관련 비용과 안전관리 책임은 계약자에게 있고, 설치 후 1회 무상 이전 지원 조건도 있다.