산화막 식각 장비 구매

대구경북과학기술원이 삼성 창고에 보관된 산화막 식각 장비를 리퍼비시해 설치할 업체를 찾는다. 예산은 부가세 포함 8억 9,100만 원이며 계약일부터 5개월 안에 납품·설치해야 한다. 업체는 8인치 자동화 장비의 규격 적합성, 오버홀·부품 교체 범위와 공정 성능을 입증해야 하며, 장비 실사에 참여한 업체만 입찰할 수 있다. 기술규격 적격 업체 중 예정가격 이하 최저가 투찰자를 선정하고 설치·성능 검수 후 1년간 무상 보증을 요구한다.

반도체 공정용 산화막·질화막을 식각하고 8인치 웨이퍼를 자동 처리할 리퍼비시 장비를 공급한다.

계약일로부터 5개월 이내. 설치 완료 후 2주 이내 최종 검수를 원칙으로 한다.

8인치 노치형 웨이퍼, Etch Centura II 플랫폼, EMAX 공정 챔버 기반의 산화막·질화막 건식 식각 장비. 전원은 208V 3상 4선식, 10kW·225A를 요구한다.

Centura II EMAX 산화막 식각 장비 1세트. 8인치 웨이퍼 25매 자동 공정, Load-lock·Process 챔버, 로봇 이송, 진공·가스·냉각·전원 구성과 하부 서브펩 장비를 포함한다.

장비 제작사 또는 공급사의 자격이 검증된 전문 엔지니어가 설치·운용·인수시험을 수행해야 한다. 사용자와 관리자 교육을 제공하고 보증기간 동안 최소 2회 추가 교육을 지원한다.

리퍼비시 장비 1세트, 설치보고서 2부, 공정결과보고서 2부, 운용·유지보수·문제해결 매뉴얼, 기술지원 및 일정 자료

국가계약법상 입찰 자격과 나라장터 등록을 갖춰야 한다. 공고에서 정한 창고 장비 실사에 참여해야 하고, 최근 5년 내 반도체 기업 또는 R&D 기관에 8인치 자동화 산화막 식각 장비를 납품한 실적을 증빙해야 한다. 공동수급은 허용하지 않는다.

규격·가격 동시입찰. 기술규격 적격 판정을 받은 업체 중 예정가격 이하 최저가 투찰자를 낙찰자로 선정한다. 제안서 기술평가 100점 중 80점 이상이어야 적격이다.

전자 가격입찰과 입찰서 마감은 2026년 10월 14일 12시다. 기술제안서 등은 우편 또는 방문 제출할 수 있고 이메일 제출도 허용된다. 우편물은 마감 전날 18시까지 도착해야 한다. 공고문상 창고 실사 일정은 10월 6일 오전 10시다.

장비는 중고 설비를 리퍼비시해 공급하며 도면 첨부 2개를 열지 못했다. 공고문은 실사 시간을 오전 10시로 안내하지만 제안요청서의 장비실사 확인서는 같은 날 시간을 미정으로 적었다. 기술규격 미달 시 반송과 운송 비용은 계약자가 부담하고, 설치·공정 검수까지 마쳐야 납품이 완료된다.