스마트랩 통합형 고진공 박막 증착 시스템

한국생산기술연구원이 이리듐 등 금속·산화물·질화물 박막을 증착할 스마트랩 통합형 고진공 박막 증착 시스템 1식을 제작·설치하는 공고다. 배정예산은 부가세 포함 358,600,000원이며 계약일로부터 30일 안에 납품한다. 진공증착기 제조 또는 공급 등록 업체가 참가하고, 기술평가 85점 이상 적격자 중 예정가격 이하 최저가 입찰자를 선정한다. E-beam 증착, 마그네트론 스퍼터, 로드락 이송과 스마트랩 데이터 플랫폼을 통합해야 한다.

한국생산기술연구원의 스마트랩 기반 All-다이아몬드 CMOS 개발 연구에 활용할 박막 증착 시스템을 구축한다.

계약일로부터 30일 이내

E-beam evaporation, magnetron sputtering, loadlock transfer, 고진공 배기, 기판 가열·회전, QCM 막두께 제어, PC·PLC 자동제어와 Smart Lab Data Platform을 통합한다. 공정 데이터 내보내기에 CSV·Excel·PDF 또는 데이터베이스 형식을 지원하고 OPC-UA, Modbus TCP, TCP/IP, REST API 등 연계 확장성을 제공한다.

UHV process chamber, E-beam source, magnetron sputtering gun 3기 이상, loadlock, 펌프·가스공급계, 기판 스테이지, QCM, 제어 PC·PLC 및 랙을 포함한 시스템 1식의 제작·운반·설치·시운전 범위다.

제안서에 업체 현황과 참여인력의 기술·전문지식, 납품 일정, 설치·시험운영 및 교육·유지보수 계획을 포함한다. 기술평가는 대면으로 진행하며 업체별 발표 15분과 질의응답 15분이다.

장비 1식, 제작도면 승인본, 설치·시험운영, 이리듐 증착 검수 결과(조건표, QCM·압력·전력 추이, 두께·균일도 계산 및 공정 보고서), 소프트웨어와 사용자 교육을 제공한다.

나라장터에 진공증착기(2399039801)를 제조 또는 공급 물품으로 등록해야 한다. 일반경쟁이며 공동계약과 재하도급은 불가하다.

기술평가 평균 85점 이상인 규격 적격자만 가격을 개찰한다. 예정가격 이하 최저가를 낙찰자로 정한다. 기술평가는 제품규격 80점, 수행능력 10점, 사후관리 10점으로 총 100점이다.

입찰서와 제안서는 나라장터로 전자 제출하며 마감은 2026년 10월 8일 10:00다. 제안서 제출과 가격투찰을 모두 마쳐야 유효하다. 기술평가는 대면이며 발표 일정과 장소는 추후 개별 통보한다.

납품기한은 30일로 짧고 현장설치·기능검수·교육까지 포함한다. 설치 전 현장 실측과 전원·냉각수·가스·배기·네트워크 조건을 협의해야 하며 설치·시운전 비용과 사고 책임은 계약상대자가 부담한다. 하자보증은 12개월이고 기술지원 요구에 48시간 안에 대응해야 한다.